让您的真空设备健康高兴的作业——分子泵篇

  分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称，是一种很常见的取得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有十分快速地旋转的转子，支撑转子滑润滚动的轴承承当了很大的负荷，正确的运用和及时的保养，对分子泵轴承甚至整个分子泵的正常作业含义严峻。

  别的，分子泵在加快时功率较大，内部发热十分严峻，频频的启停（两次发动距离热量累积，使分子泵内部的温度过高，加重轴承磨损。依据工艺条件挑选恰当的冷却分子泵的冷却方法有三种：天然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以运用天然冷却；较大的分子泵或许有必定的气体负载时，要挑选强制风冷（电扇冷却）；关于有些负载很大的运用（比方CVD），或许不方便运用电扇的环境（如辐射环境），需求采纳水冷。

  不管采纳哪种冷却方法，分子泵作业的环境和温度都要保持在 5-35 摄氏度之间，采纳水冷时，要选用通过处理的软水，冷却水的温度和流量也要满意说明书的要求。

  有客户会以为，长时刻停泵不必对分子泵的损耗会比较小。可是，分子泵长时刻停泵后，在表面张力和重力的效果下，

  为了削减轴承因长时刻寄存而形成的散布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软发动”功用。

  如通过运送或许停泵的时刻超越 2 个月，可以正常的运用软发动功用发动分子泵，转速以阶梯方